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      华林科纳甩干机

      来源:苏州市华林科纳半导体设备技术有限公司  日期:2016-09-19 09:06:33  浏览次数:43次    文字:[大][中][小]


      甩干机--华林科纳



       

      . 应用范围:

      l  本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.

      l  设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.

      l  可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program)

      l  具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300
      um 以下.

      l  高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.


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